光學影像測量儀是建立在CCD數位影像的基礎上，依托于計算機屏幕測量技術和空間幾何運算的強大軟件能力而產生的。通過捕捉工件表面影像的邊緣，進行圖像處理，獲得影像幾何要素的數據。
光學影像測量儀校準過程：
1、多點測量的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。鏡頭選擇放大倍數，以保證測量只能通過多個局部圓弧（規定采用15個局部圓弧）測量計算圓參數。以自動捕捉邊緣點的方式獲得測量結果，取10次測量圓的狀誤差值。
2、成像歧變的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。光學影像測量儀的鏡頭選擇大、小和中間放大倍數，選擇合適的標準圓，使圓的像占視場的2/9，在9個位置測量圓的中心坐標，以單軸坐標變化的數值作為測量結果。
3、照明影響的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。鏡頭選擇大，小和中間放大倍數選擇合適的標準圓，使圓的成像占視場的2/3，使用“整體提取圓"提取出圓的邊沿，計算圓直徑。
4、二維長度測量示值誤差校準
使用玻璃刻線尺，在水平軸向和對角線方向各測量2個位置，再由用戶任意選擇一個位置，共7個位置進行校準測量。每個位置測量5個長度，每個長度測量3次，記錄測量值和標準值的差，得到105個示值誤差值。
5、Z軸長度測量示值誤差
使用量塊豎立在工作臺上，利用表面光照明，采用自動聚焦的方式瞄準工作臺和量塊上表面，測量Z方向量塊高度值，與名義值比較，確定光學影像測量儀Z軸長度測量示值誤差。
